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產(chǎn)品及應(yīng)用
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淺結(jié)/超淺結(jié)
晶圓退火 | LA
淺結(jié)/超淺結(jié)晶圓退火 | LA
應(yīng)用領(lǐng)域
BSI-CCD晶圓低能注入離子激活
產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 國內(nèi)首創(chuàng)，8寸量產(chǎn)設(shè)備

  • 精確能量密度控制

  • 紫外波段激光、穿透深度小

  • 大長寬比線形平頂光斑

  • 低擴(kuò)散深度的超淺結(jié)深控制工藝技術(shù)

型號(hào)LA2518UV
晶圓尺寸6寸、8寸
結(jié)深≤50nm
雜質(zhì)峰值擴(kuò)散深度≤5nm
RS不均勻性<2%(片內(nèi)/片間)