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激光誘導外延生長(cháng)設備 | LIEG
激光誘導外延生長(cháng)設備 | LIEG
應用領(lǐng)域
納米尺度直徑、大深寬比孔內填充非晶材料激光誘導外延生長(cháng)和void消除
產(chǎn)品特點(diǎn)
  • 國內首創(chuàng ),12寸量產(chǎn)設備

  • 激光多脈沖高精度合束調控技術(shù)

  • 大光斑、高產(chǎn)能

  • 低至5mJ/cm2的能量密度調控精度

型號LA3381G
激光波長(cháng)532nm
晶圓尺寸12寸
能量調控精度5mJ/cm2
光斑頂部不均勻性≤1%
焦深范圍5mm
工藝效果結晶及void消除