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產(chǎn)品及應(yīng)用
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激光誘導(dǎo)外延生長設(shè)備 | LIEG
激光誘導(dǎo)外延生長設(shè)備 | LIEG
應(yīng)用領(lǐng)域
納米尺度直徑、大深寬比孔內(nèi)填充非晶材料激光誘導(dǎo)外延生長和void消除
產(chǎn)品特點(diǎn)

  • 國內(nèi)首創(chuàng)，12寸量產(chǎn)設(shè)備

  • 激光多脈沖高精度合束調(diào)控技術(shù)

  • 大光斑、高產(chǎn)能

  • 低至5mJ/cm2的能量密度調(diào)控精度

型號LA3381G
激光波長532nm
晶圓尺寸12寸
能量調(diào)控精度5mJ/cm2
光斑頂部不均勻性≤1%
焦深范圍5mm
工藝效果結(jié)晶及void消除