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激光誘導結晶
設備 | LIC
激光誘導結晶設備 | LIC
應用領(lǐng)域
非晶材料的激光結晶及原位雜質(zhì)激活
產(chǎn)品特點(diǎn)
  • 全球首創(chuàng ),12寸量產(chǎn)設備

  • 高均勻性的全自主LIET光學(xué)系統

  • 低至5mJ/cm2的能量密度調控精度

  • nS級精確脈寬控制

型號LA2540G
激光波長(cháng)527nm
晶圓尺寸12寸
能量密度調控精度5mJ/cm2
光斑頂部不均勻性率≤1%
焦深范圍5mm
工藝效果一次掃描完成結晶和激活工藝