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IGBT晶圓
激光退火 | LA
IGBT晶圓激光退火 | LA
應用領(lǐng)域
硅基IGBT晶圓離子激活
產(chǎn)品特點(diǎn)
  • 高可靠性、成熟穩定

  • 全自主光學(xué)系統

  • 優(yōu)良的熱預算控制,有效降低碎片風(fēng)險

  • 低至50μm超薄TaiKo晶圓處理能力

型號LA2540SLA2550SLA2540DLA2550D
晶圓尺寸6寸、8寸、12寸
激光功率60W*290W*260W*2+300W90W*2+300W
激光能量密度≥5J/cm2×2
激活率≥95%@B+≥90%@P+
RS不均勻性片內:≤1%@3sigma片間:≤1%@3sigma
工藝效果無(wú)碎片、無(wú)裂紋、鍵合片退火后邊緣無(wú)翹曲