高可靠性、成熟穩(wěn)定
全自主光學(xué)系統(tǒng)
優(yōu)良的熱預(yù)算控制,有效降低碎片風(fēng)險(xiǎn)
低至50μm超薄TaiKo晶圓處理能力
型號(hào) | LA2540S | LA2550S | LA2540D | LA2550D |
晶圓尺寸 | 6寸、8寸、12寸 | |||
激光功率 | 60W*2 | 90W*2 | 60W*2+300W | 90W*2+300W |
激光能量密度 | ≥5J/cm2×2 | |||
激活率 | ≥95%@B+ | ≥90%@P+ | ||
RS不均勻性 | 片內(nèi):≤1%@3sigma | 片間:≤1%@3sigma | ||
工藝效果 | 無(wú)碎片、無(wú)裂紋、鍵合片退火后邊緣無(wú)翹曲 |