多種激光運(yùn)行模式與光束整形，保證最佳切口質(zhì)量和效率
波前校正技術(shù)確保高精度加工和一致性
自動(dòng)定位、自動(dòng)調(diào)焦、自動(dòng)檢測，保證生產(chǎn)良率
大圖形自動(dòng)分切或手動(dòng)分切選擇，拼接精度高達(dá)±1μm
支持翹曲片、TAIKO片傳輸
| 型號(hào) | LS1520/LS1530 |
| 激光波長 | 355nm |
| 激光輸出功率 | 15/30W |
| 加工方式 | 掃描式與直線平臺(tái) / 旋轉(zhuǎn)平臺(tái)組合運(yùn)動(dòng)，自動(dòng)圖形拼接 |
| 定位精度 | ±1μm |
| 加工精度 | ±5μm |
| 晶圓尺寸 | 6寸、8寸、12寸 |
| 崩邊 | <10μm |
