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玻璃基板
激光誘導鉆孔機 | LDR
玻璃基板激光誘導鉆孔機 | LDR
應用領(lǐng)域
主要應用于異形構造玻璃;射頻組件/光電元件/光掩模版/MEMS/玻璃基高密度基板;晶圓先進(jìn)封裝-玻璃間隔晶片;Mini/Micro LED顯示面板玻璃襯底;折疊屏等進(jìn)行激光誘導鉆通孔、盲孔
產(chǎn)品特點(diǎn)
  • 定制皮秒/飛秒激光器,出光穩定

  • 激光飛行脈沖打點(diǎn),同時(shí)兼容單點(diǎn)/旋切鉆孔工藝,效率高

  • 集成優(yōu)異的軟件算法,自動(dòng)優(yōu)化激光打點(diǎn)及切割的路徑及方向

  • 可兼容產(chǎn)品漏點(diǎn)視覺(jué)檢測功能,提供產(chǎn)品漏點(diǎn)數據對接接口及預留檢測工位,實(shí)行補點(diǎn)功能無(wú)縫對接

技術(shù)指標
激光器超快皮秒/飛秒激光
加工產(chǎn)品尺寸X/Y: 350×350mm 12寸玻璃晶圓
加工玻璃厚度100-1500μm
聚焦光斑直徑<3μm
UPH≥5000孔/秒
平臺定位精度≤±2μm
重復定位精度≤±1μm
視覺(jué)配置1000萬(wàn)像素